五轴激光微纳加工设备
该设备是一套多维超快激光精细微加工系统，通过精密控制多维微位移系统的运动，实现各类斜面、锥面以及球体的三维立体空间超精细微加工。
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该系统配备超快激光，可实现高速振镜扫描、群孔微纳孔加工、高径深比孔、超疏水微纳结构、仿生学表面微结构的制备，以及材料表面可定制化深度、可选择材料种类的剥离、刻蚀等功能。
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